NF X21-051-2006 表面化学分析.再生离子质量的光谱测定.硅中硼的深仿形方法

作者:标准资料网时间:2024-05-07 13:07:30 浏览:8450 来源:标准资料网

【英文标准名称】:Surfacechemicalanalysis-Secondary-ionmassspectrometry-Methodfordepthprofilingofboroninsilicon.
【原文标准名称】:表面化学分析.再生离子质量的光谱测定.硅中硼的深仿形方法
【标准号】:NFX21-051-2006
【标准状态】:现行
【国别】:法国
【发布日期】:2006-04-01
【实施或试行日期】:2006-04-20
【发布单位】:法国标准化协会(AFNOR)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:硼;化学分析和试验;晶体;含量测定;掺杂剂;精整;硅;光谱测定法
【英文主题词】:Boron;Chemicalanalysisandtesting;Crystals;Determinationofcontent;Dopingagents;Finishes;Silicon;Spectrometry
【摘要】:
【中国标准分类号】:G04
【国际标准分类号】:71_040_40
【页数】:16P;A4
【正文语种】:其他

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